钛泵结构原理以及工作原理

钛泵布局原理

钛泵可分为二极型和三极型，三极型可进步对氩（Ar）的抽速。二极型钛泵的布局，阳极A由许多个厚0.1~0.3mm，直径为12~40mm的不锈钢薄壁圆筒构成，在阳极的两头加有1~3mm厚的钛阴极K。阳极筒的轴线与阴极面笔直，二者之间加3~7KV的电压，阳极筒的轴向加1000~3000高斯的均匀磁场。

钛泵 - 3.作业原理

在钛泵阳极筒中运动的电子，有轴向速度重量Vz和径向速度重量Vr，由于Vr与轴向磁场Bz笔直，电子会遭到洛仑兹力F=EVR´Bz效果，所以阳极筒内的电子除遭到轴对称的电场力效果外，还遭到eVr´Bz的洛仑兹力效果，电子的运动为轴向的直线运动和横截面上的轮滚线运动。在横截面上电子轮滚线运动半径的巨细是电子速度和磁场强度的函数，电子速度愈大（阳极电压愈高），轮滚线的圈愈大；磁场愈强，轮滚线的圈愈小。当阳极电压较高时，为了防止电子“滚落”到阳极上，有必要加一个较强的轴向磁场。在轴线方向，当电子向阳极筒的中间截面运动时，受电场力的加快效果，电子的速度愈来愈大，跳过中间截面后，电场力起乳化机乳化泵实验室乳化机乳化机分散机 高剪切乳化机管线式乳化机固液乳化机胶体磨阻止效果而使电子做减速运动，接近阴极板时Vz衰减为零，电子从头受电场力的加快效果而反向加快运动，过中间截面后又开端减速，如此不停的重复上述运动。电子在阳极筒中通过很长的旅程才落到阳极上。很多电子受磁场束缚，以滚轮线的方式靠近阳极筒旋转，形成一层电子云。旋转电子云的旋转频率约为100兆赫兹量级，电子密度可达1010（个/公分3）量级。上述表象称为潘宁放电。 

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