钛泵的抽速、阳极电压和磁场强度

　　钛泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关，磁场强时抽速也大，对应最好抽速的阳极电压也高。常用钛泵的抽速有25升/秒、5升/秒。对于需求大抽速的场合，可用基本结构单元并联的方式使抽速到达50升/秒、100升/秒等。

　　发动压强：10-2帕

　　寿数：

　　a、阴极耗尽寿数

　　阴极钛板因溅射穿通而使泵无法运用。

　　b、阳极脱落寿数

　　阳极内沉积钛膜的厚度太大时会发生脱落，致使泵内压强的不规则强烈改变，使泵无法运用。

　　c、阳极吸饱寿数

　　阳极上吸赞同溶解了很多的氦气、氢气，当到达饱和状态时泵不能再吸附气体。

　　在正常运用情况下，溅射离子泵的寿数可达几万小时。

　　钛泵电源

　　钛泵的电源是高内阻电源，其空载输出电压在3~7KV间，但负载电流大时，输出电压降至400V左右。一般溅射离子泵运用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额外电压与磁场强度下的放电电流Iion(mA)与压强P(Torr)有必定的曲线关系。所以经过离子泵电源可反映出压强的巨细。

　　泵电源的面板上显示有：输出直流高压和钛泵放电电流等。