剖析干泵的内部构造

　　干泵腔内无任何光滑油，四对断面一样的转子，分别在它们各自的泵腔内固定在两个平行的轴上，用一对时限赤轮把它们连接并调整到使它们相互不触摸，有必定的空隙。干泵作业时，泵腔容积不断地周期性地发生变化，由大到小和由小到大，这样运用气体通道的启闭作用完成抽气作用，并且选用拼接成套的布局，细微杂质和灰尘可通过气道和气体一起排出泵外，泵的接连作业最大入口压力为5000Pa，可直排大气。

　　干泵 - 分类

　　1、容积式的无油真空泵, 例如多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干泵的极限压力一般为0.1～10Pa, 抽速为0.01～ 0.04m 3ös。

　　2、动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接, 在接连流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵, 可从大气压抽到1022Pa。在布局上选用径向流和周向流泵的复合式布局,多级串联抽气。这种涡轮式泵的极限压力约为10-2Pa, 抽速为0.02～0.15m 3ös。牵引型干泵也归于动量传输式的干泵。

　　干泵 - 适用范围

　　安捷伦干式真空泵能在大气压到10-2Pa 的压力范围内作业，在泵的抽气流道(如泵腔)中，不能运用任何油类和液体、排气口与大气相通,能接连向大气中排气的泵, 即称为干式真空泵。

　　无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开端抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他作业介质，并且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或许挨近的机械真空泵。

　　当前，真空职业运用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的作业介质，在泵内起冷却、密封、光滑等多种作用。跟着科学技术的开展以及真空应用领域的扩展，原有的机械真空泵及其组成的抽气体系呈现了两个急需解决问题：一是泵的作业介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，添加设备的保护本钱。其次，由于某些技术过程中的反响物质使真空泵内的介质严重蜕变，使泵不能正常作业。

　　关于一般的无油真空体系来说，尽管可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来避免返流，但不能完全解决问题，并且使体系显得杂乱。而运用恰当型式的干式机械真空泵，则能够达到抱负的运用作用。

　　干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

　　1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备技术中;

　　2)半导体刻蚀技术。在这些生产技术中通常用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

　　3)除半导体技术外的某些产生微粒的技术，不期望微粒混入泵油中，而期望微粒排出泵外，则用必定型式的干式机械真空泵能够满足要求;

　　4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、枯燥、脱泡、包装等，要避免有机溶剂形成污染，适合用干式真空泵;

　　5)用做一般无油清洁真空体系的前级泵，以避免油污染。